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|---|---|
| 專利名稱(中) | 晶圓缺角自動對齊裝置 |
| 專利家族 |
中華民國：I799990 大陸：8788202 美國：US 12,217,993 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 葉維彰,譚詩毅 |
| 技術領域 | 電子電機,工業工程 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 黃允恬 |
| 承辦人電話 | (03)571-5131#62305 |
| 承辦人Email | yuntian@mx.nthu.edu.tw |
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傳 真：
+886-3-5162275
地 址：
300044 新竹市光復路二段101號 國立清華大學 創新育成大樓 113室