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專利名稱(中) 慣性感測元件
專利名稱(英) Inertial Sensing Device
專利家族 中華民國：I548861
專利權人 國立清華大學 100.00%
發明人 方維倫,溫榮弘
技術領域 材料化工,電子電機,機械結構
專利摘要(中)
一種慣性感測元件，包括：一質量塊；一感測電極層，用以感測該質量塊之動作；以及一彈簧，耦接至該質量塊，用以支撐該質量塊，其中，該質量塊與該感測電極層為單一材質。其中，質量塊係為單一材質，能夠達到多個自由度的慣性感測。
聯絡資訊
承辦人姓名 李馥如
承辦人電話 03-5715131 #34576
承辦人Email fujulee@mx.nthu.edu.tw
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