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| 專利名稱(中) | 石墨烯制备系统及方法 |
| 專利名稱(英) | A GRAPHENE MANUFACTURING SYSTEM AND THE METHOD THEREOF |
| 專利家族 |
中華民國：I505986 大陸：2155534 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 葉昭輝,邱博文 |
| 技術領域 | 光電光學 |
 專利摘要(中) |
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| 本发明披露一种石墨烯制备系统及方法，相异于现有技术利用单一供气循环来对工件进行各气体的输送，本发明提出了一种在沉积过程中，通过间断式重复调整输入气体的输入量，以多循环供气来有效降低石墨烯的片电阻值的方法。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 李曉琪 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #31061 |
| 承辦人Email | hsiaochi@mx.nthu.edu.tw |
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