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| 專利名稱(中) | 即時檢測全場厚度的光學裝置 |
| 專利名稱(英) | OPTICAL INTERFEROMETRIC SYSTEM FOR MEASUREMENT OF A FULL-FIELD THICKNESS OF A PLATE-LIKE OBJECT IN REAL TIME |
| 專利家族 |
中華民國：I601938 大陸：3706038 美國：9,952,034 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 宋泊錡,王偉中 |
| 技術領域 | 光電光學,機械結構 |
 專利摘要(中) |
|---|
| 一種即時檢測全場厚度的光學裝置，包含二光源單元、二屏幕、二影像擷取器，及一影像處理模組。二光源單元分別產生行進至平面待測件的參考點的第一入射光與第二入射光，該第一入射光與該第二入射光為點擴束且具同調性的球面光波，並分別產生第一干涉條紋與第二干涉條紋。二屏幕分別將第一干涉條紋與第二干涉條紋成像於其上。二影像擷取器分別設置於兩個屏幕之上，擷取干涉條紋的光強影像。影像處理模組與影像擷取器連接以獲得數位訊號，並計算平面待測件的全場厚度分布。 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 李馥如 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #34576 |
| 承辦人Email | fujulee@mx.nthu.edu.tw |
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