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專利名稱(中) 具有微電感結構之感測晶片
專利名稱(英) SENSOR CHIP HAVING A MICRO INDUCTOR STRUCTURE
專利家族 中華民國：I513960
美國：9,340,408
專利權人 國立清華大學 100.00%
發明人 張恒中,方維倫
技術領域 材料化工,電子電機,機械結構
專利摘要(中)
本發明關於一種具有微電感結構之感測晶片，有一支撐結構層；以及一微電感層，其形成於該支撐結構層上，並具有一電感值，該微電感層包含有一絕緣層、至少一磁性層以及一微線圈層，當一外部物理量作用於該感測晶片時，該微電感層可相對應地變形，而產生其電感值的變化，而可被一電感值量測電路所量測到。該電感值量測電路可為一外部電路，亦可整合於該感測晶片。本發明具有結構簡單、低成本，容易製造並具有高靈敏度及溫度穩定性的優點。
聯絡資訊
承辦人姓名 李馥如
承辦人電話 03-5715131 #34576
承辦人Email fujulee@mx.nthu.edu.tw
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