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| 專利名稱(中) | 具有應力隔絕結構之慣性感測器 |
| 專利名稱(英) | INERTIAL SENSOR WITH STRESS ISOLATION STRUCTURE |
| 專利家族 |
中華民國：I461692 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 謝協伸,方維倫 |
| 技術領域 | 機械結構 |
 專利摘要(中) |
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| 一種具有應力隔絕結構之慣性感測器，包含有一基材、一懸橋、一保護環以及一機電轉換結構。該基材具有一容槽及一圍繞該容槽的環壁，該懸橋設於該容槽內，並與該環壁連接，該保護環與該懸橋連接而懸吊於該容槽內，且該懸橋介於該基材與該保護環之間，而該機電轉換結構與該保護環連接，且受該保護環的圍繞。據此，本發明藉由該保護環的設置，降低環境外力對該機電轉換結構的干擾，可增進該慣性感測器的精準度及降低元件後續封裝製程對其性能所造成的影響，故可進一步簡化整體封裝、測試及校準程序而降低生產成本。 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 李馥如 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #34576 |
| 承辦人Email | fujulee@mx.nthu.edu.tw |
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