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專利名稱(中) 加速度計
專利家族 中華民國：I391663
美國：8,443,670
專利權人 國立清華大學 100.00%
發明人 吳名清,方維倫,徐家保
技術領域 電子電機,機械結構
專利摘要(中)
所揭露的是一種實施於SOI晶圓上新穎的電容式三軸加速度計，這種加速度計包含特別設計的間隙閉合差分感測電極。本三軸加速度計有四項優點：(一)質量塊包含SOI晶片之元件層(device layer)以及處理層(handle layer)，(二)間隙閉合的差分電容感測電極的設計提高了靈敏度，(三)SOI晶圓的元件層和處理層之間的金屬互連設計使得在結合板上的寄生電容減少，(四)所感測的間隙厚度係已由SOI晶圓的方格氧化層所精準定義。
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承辦人姓名 李馥如
承辦人電話 03-5715131 #34576
承辦人Email fujulee@mx.nthu.edu.tw
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