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專利名稱(中)	具有軟磁性材料的感應元件
專利家族	中華民國：I280592
專利權人	國立清華大學 100.00%
發明人	賴志煌,江若帆
技術領域	材料化工

專利摘要(中)
一種具有軟磁性材料的感應元件，包含：一基材、一形成於該基材上的絕緣層、一設置於該絕緣層內且是由含有鐵、鉭、碳及氮之組份的鐵磁性材料所製成的鐵磁性層，及一疊層地連接於該絕緣層且藉該絕緣層與該鐵磁性層相間隔開的螺旋狀誘導體。其中，該鐵磁性層是使用一由鐵、鉭及碳所構成的靶材，在一介於1 mTorr至50 mTorr之間的工作壓力，以及一0.0005至0.25之間的氮氣比氬氣之流量比值之條件下利用反應式濺鍍法所形成，且鐵、鉭及碳於該靶材中的重量比分別是介於50 wt％至95 wt％、25 wt％至5 wt％及25 wt％至5 wt％之間。

專利摘要(中)

一種具有軟磁性材料的感應元件，包含：一基材、一形成於該基材上的絕緣層、一設置於該絕緣層內且是由含有鐵、鉭、碳及氮之組份的鐵磁性材料所製成的鐵磁性層，及一疊層地連接於該絕緣層且藉該絕緣層與該鐵磁性層相間隔開的螺旋狀誘導體。其中，該鐵磁性層是使用一由鐵、鉭及碳所構成的靶材，在一介於1 mTorr至50 mTorr之間的工作壓力，以及一0.0005至0.25之間的氮氣比氬氣之流量比值之條件下利用反應式濺鍍法所形成，且鐵、鉭及碳於該靶材中的重量比分別是介於50 wt％至95 wt％、25 wt％至5 wt％及25 wt％至5 wt％之間。

聯絡資訊
承辦人姓名	楊美茹
承辦人電話	03-5715131 #62305
承辦人Email	mjyang2@mx.nthu.edu.tw