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專利名稱(中)	製備過渡金屬硫族化物之方法
專利名稱(英)	METHOD OF FABRICATING TRANSITION METAL DICHALCOGENIDE
專利家族	中華民國：I551539 大陸：3557750 美國：9,840,764
專利權人	國立清華大學 100.00%
發明人	顏文群,陳雨澤,蘇登瑜,李建廣,麥迪納,闕郁倫
技術領域	材料化工,光電光學,電子電機

專利摘要(中)
本发明提供种制备过渡金属硫族化物的方法，其可于150至500度的基板温度以及25至760托耳的制程环境下生产过渡金属硫族化物。且本发明采用的硫族元素来源是采用加热硫族固体源并对其离子化的方式以取得硫族元素等离子体，所以在本发明中可避免去使用习知制备过渡金属硫族化物技术中的剧毒硫化氢气体。

專利摘要(中)

本发明提供种制备过渡金属硫族化物的方法，其可于150至500度的基板温度以及25至760托耳的制程环境下生产过渡金属硫族化物。且本发明采用的硫族元素来源是采用加热硫族固体源并对其离子化的方式以取得硫族元素等离子体，所以在本发明中可避免去使用习知制备过渡金属硫族化物技术中的剧毒硫化氢气体。