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專利名稱(中) 電子束還原圖案化金屬的裝置及其方法
專利名稱(英) Reduction of Patterning Metal via Electron Beam and the Method thereof
專利家族 中華民國:I489516
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 賴世恩,張平,洪英展,游萃蓉
技術領域 材料化工
聯絡資訊
承辦人姓名 楊美茹
承辦人電話 03-5715131 #62305
承辦人Email mjyang2@mx.nthu.edu.tw
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