專利授權區 | |
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專利名稱(中) | 電子束還原圖案化金屬的裝置及其方法 |
專利名稱(英) | Reduction of Patterning Metal via Electron Beam and the Method thereof |
專利家族 |
中華民國:I489516 |
專利權人 | 國立清華大學 100% |
發明人 | 賴世恩,張平,洪英展,游萃蓉 |
技術領域 | 材料化工 |
聯絡資訊 | |
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承辦人姓名 | 楊美茹 |
承辦人電話 | 03-5715131 #62305 |
承辦人Email | mjyang2@mx.nthu.edu.tw |