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| 專利名稱(中) | 厚度線上即時檢測之光學干涉裝置及其方法 |
| 專利名稱(英) | An Optical Interferometry Based On-Line Real-Time Thickness Measurement Apparatus and Method Thereof |
| 專利家族 |
中華民國：I486550 大陸：2796773 美國：9,644,947 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 李孟修,宋泊錡,黃吉宏,王偉中 |
| 技術領域 | 機械結構,光電光學 |
 專利摘要(中) |
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| 一种厚度在线实时检测的光学干涉装置，包括光源，用以产生高同调性点扩束的球面光波；屏幕，设置于该光源前方，用以将高同调性点扩束的球面光波自斜向角度照射一待测试件时产生的干涉条纹成像于其上；影像撷取单元，设置于该屏幕前方，用以撷取该屏幕上的干涉条纹并转换为数字影像；以及影像处理模块，与该影像撷取单元连结，用以分析干涉条纹的数字影像并进行数值计算，以取得该待测试件的全场厚度分布。如此，利用高同调性点扩束的球面光波以斜向角度照射待测试件进行瞬时且大范围面积的全场厚度量测，适用于实时在线检测，符合快速在线检测的量测时间短及范围大等要求，对待测试件以非接触及非破坏性方式进行量测。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
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