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專利名稱(中) 反射掃描式同調光繞射顯影方法及系統
專利名稱(英) Reflective And Scanning Coherent Diffraction Imaging Method And System
專利家族 中華民國：I799345
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 陳健群,陸平
技術領域 工業工程,光電光學
專利摘要(中)
一種反射掃描式同調光繞射顯影方法及系統中，二維光偵測器偵測照射在受測樣品的多個掃描位置的同調光束經繞射且被該受測樣品反射的繞射光束以獲得多個二維繞射資料分布；處理器將該等二維繞射資料分布轉換成在倒空間的多個二維強度分布，根據樣品函數、光源函數和該等二維強度分布進行多次的世代演算後獲得重建樣品函數其中每次世代演算依照該等二維強度分布的特定的組排序進行多次迭代演算，並根據該重建樣品函數且利用三維繪圖應用程式生成該受測樣品的表面形貌的三維重建影像，藉此實現具有相對較高的準確性和真實性的三維影像重建。
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承辦人姓名 楊美茹
承辦人電話 03-5715131 #62305
承辦人Email mjyang2@mx.nthu.edu.tw
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