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專利名稱(中) 即時檢測全場厚度的光學裝置
專利名稱(英) OPTICAL INTERFEROMETRIC SYSTEM FOR MEASUREMENT OF A FULL-FIELD THICKNESS OF A PLATE-LIKE OBJECT IN REAL TIME
專利家族 中華民國:I601938
大陸:3706038
美國:9,952,034
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 宋泊錡,王偉中
技術領域 機械結構,光電光學
聯絡資訊
承辦人姓名 劉千綺
承辦人電話 03-571-5131 #31181
承辦人Email chienchi@mx.nthu.edu.tw
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