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| 專利名稱(中) | 在微波頻段具有正向調諧性之變容結構 |
| 專利家族 |
中華民國：I271759 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 吳泰伯,藍文安,黃聆惠 |
| 技術領域 | 材料化工 |
 專利摘要(中) |
|---|
| 本發明提供一種在微波頻段中具有正向調諧性之變容結構，亦即其電容值可隨偏壓而上昇，此結構係利用高溫濺鍍金屬氧化物，使其在一半導性基板上形成鍍膜，並使鍍膜中所含的離子藉熱擴散進入半導性基板內，在該高阻值基板上形成一低阻值界面層，藉而構成一在微波頻段具有正向調諧特性的變容結構。 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 楊美茹 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #62305 |
| 承辦人Email | mjyang2@mx.nthu.edu.tw |
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