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| 專利名稱(中) | 光源生成装置、光源生成方法以及相关的检测系统 |
| 專利家族 |
PCT：WO2021251966A1(公開號) 中華民國：I749585 大陸：CN115699480A(公開號) 歐盟：4165739 美國：12,191,621 韓國：10-2023-0023730(公開號) |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 孔慶昌,黃旆齊,盧志軒,陳明彰 |
| 技術領域 | 光電光學,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 极紫外光辐射光源生成装置包含泵浦源、至少一塑形单元、波长转换单元、以及高阶谐波生成单元。泵浦源提供脉冲激光辐射光束。每一塑形单元对脉冲激光辐射光束进行展频操作与相位补偿操作。相位补偿操作使塑形单元发射的脉冲激光辐射光束中多个频率成分的相位一致。波长转换单元对脉冲激光辐射光束进行中心波长转换操作。高阶谐波生成单元接收经过塑形单元处理以及中心波长转换操作的脉冲激光辐射光束，且将接收到的脉冲激光辐射光束聚焦至高阶谐波生成介质以产生高阶谐波辐射光束。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 李曉琪 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #31061 |
| 承辦人Email | hsiaochi@mx.nthu.edu.tw |
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