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專利名稱(中)	厚度線上即時檢測之光學干涉裝置及其方法
專利名稱(英)	Optical Interferometric Apparatus for Real-Time Full-Field Thickness Inspection and Method Thereof
專利家族	中華民國：I486550 大陸：2796773 美國：9,644,947
專利權人	國立清華大學 100.00%
發明人	宋泊錡,李孟修,黃吉宏,王偉中
技術領域	機械結構,光電光學

專利摘要(中)
一種厚度線上即時檢測之光學干涉裝置，可同時符合快速線上檢測之量測時間短及範圍大等要求，對待測試件以非接觸及非破壞性方式進行量測，量測方式係使光波以斜向角度照射，其干涉條紋直接與待測試件之厚度相關，無需使用透鏡，不僅成本較低，更可有較大的量測區域，且相位差在同一橫斷面上會自近光源側至他側由左而右呈現連續單調(monotonic)遞減函數之分布，根據此固定規律性可有效地進行相位展開，無需經過相移(Phase Shift)，可使本發明達成快速線上檢測之目標；因此，本發明係提供一種光徑(Optical Path)不需光學透鏡組之技術，利用高同調性(Coherence)點擴束之球面光波以斜向角度照射待測試件進行瞬時且大範圍面積之全場厚度量測，故適用於即時線上檢測

專利摘要(中)

一種厚度線上即時檢測之光學干涉裝置，可同時符合快速線上檢測之量測時間短及範圍大等要求，對待測試件以非接觸及非破壞性方式進行量測，量測方式係使光波以斜向角度照射，其干涉條紋直接與待測試件之厚度相關，無需使用透鏡，不僅成本較低，更可有較大的量測區域，且相位差在同一橫斷面上會自近光源側至他側由左而右呈現連續單調(monotonic)遞減函數之分布，根據此固定規律性可有效地進行相位展開，無需經過相移(Phase Shift)，可使本發明達成快速線上檢測之目標；因此，本發明係提供一種光徑(Optical Path)不需光學透鏡組之技術，利用高同調性(Coherence)點擴束之球面光波以斜向角度照射待測試件進行瞬時且大範圍面積之全場厚度量測，故適用於即時線上檢測

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承辦人姓名	劉千綺
承辦人電話	03-571-5131 #31181
承辦人Email	chienchi@mx.nthu.edu.tw