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專利名稱(中) 厚度線上即時檢測之光學干涉裝置及其方法
專利名稱(英) Optical Interferometric Apparatus for Real-Time Full-Field Thickness Inspection and Method Thereof
專利家族 中華民國:I486550
大陸:2796773
美國:9,644,947
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 宋泊錡,李孟修,黃吉宏,王偉中
技術領域 機械結構,光電光學
聯絡資訊
承辦人姓名 劉千綺
承辦人電話 03-571-5131 #31181
承辦人Email chienchi@mx.nthu.edu.tw
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