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| 專利名稱(中) | 半導體批次生產派工方法 |
| 專利名稱(英) | METHOD OF DISPATCHING SEMICONDUCTOR BATCH PRODUCTION |
| 專利家族 |
中華民國：I523129 美國：9,513,626 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 許嘉裕,陳暎仁,簡禎富 |
| 技術領域 | 工業工程,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 本發明係揭露一種半導體批次生產派工方法，該方法包含下列步驟：藉由實際量測線寬資料統計線寬偏差基準水平估計值、產品偏差效應估計值、反應室偏差效應估計值以及反應室偏差效應標準誤，儲存於歷史資料模組；於生產批次模組輸入包含產品種類、製造前量測線寬以及製造後目標線寬之製造批次；透過匹配模組之運算引擎，配合歷史資料模組之資訊，計算每個反應室之反應室相似度指標；利用派工模組將指標轉換成機台指派優先順序，藉此安排生產機台；測量製造後量測線寬以更新歷史資料模組。在製造過程中自然消弭各種變異產生之線寬偏差。 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 李佳玲 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #62300 |
| 承辦人Email | cl.lee@mx.nthu.edu.tw |
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