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專利名稱(中) 擴散阻障結構、導電疊層及其製法
專利名稱(英) DIFFUSION BARRIER STRUCTURE, AND CONDUCTIVE LAMINATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
專利家族 中華民國:I669209
大陸:4528006
美國:11,331,883
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 王偉彥,衛子健
技術領域 材料化工,能源科技,電子電機
專利摘要(中)
本发明公开一种扩散阻障结构、导电迭层及其制法。导电迭层包括一基板、一扩散阻障结构以及一导电层,扩散阻障结构形成于基板和导电层之间,扩散阻障结构包括一非连续改质层以及一阻障层,非连续改质层设置于所述基板上,所述非连续改质层的材料是一具有亲水基的高分子;阻障层设置于所述基板和所述非连续改质层上,所述阻障层的材料至少包括一自修复高分子。扩散阻障结构可阻障金属原子的扩散,避免导电迭层在加工热处理时,因温度升高导致导电迭层的特性退化或毁损。
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承辦人姓名 周家鳳
承辦人電話 03-5715131 #34576
承辦人Email cf.chou@mx.nthu.edu.tw
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