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專利名稱(中)	薄膜圖案形成方法
專利名稱(英)	METHOD OF PATTERNING THIN FILM
專利家族	中華民國：I567487 大陸：2989865 美國：9,625,820
專利權人	國立清華大學 100%
發明人	陳威群,楊長謀
技術領域	材料化工,能源科技,光電光學

專利摘要(中)
本發明是一種薄膜圖案形成方法，包含形成薄膜、覆蓋光罩於薄膜以及進行溶劑退火與照光步驟。其中薄膜包含第一分子，第一分子具有共軛結構。光罩包含至少一曝光區，溶劑退火與照光步驟中使用光源照射薄膜，並在第一溶劑氛圍下進行，光源的波長範圍對應第一分子達到激發態的能量。藉此，薄膜對應曝光區的照光區厚度增加或減少，以於薄膜形成圖案。本發明的薄膜圖案形成方法具有簡化製程、提高生產效率與符合環保訴求等優點。

專利摘要(中)

本發明是一種薄膜圖案形成方法，包含形成薄膜、覆蓋光罩於薄膜以及進行溶劑退火與照光步驟。其中薄膜包含第一分子，第一分子具有共軛結構。光罩包含至少一曝光區，溶劑退火與照光步驟中使用光源照射薄膜，並在第一溶劑氛圍下進行，光源的波長範圍對應第一分子達到激發態的能量。藉此，薄膜對應曝光區的照光區厚度增加或減少，以於薄膜形成圖案。本發明的薄膜圖案形成方法具有簡化製程、提高生產效率與符合環保訴求等優點。

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承辦人姓名	蔡昀臻