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| 專利名稱(中) | 氣溶膠沉積設備 |
| 專利家族 |
中華民國：I834553 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 曾繁根,彭顯智 |
| 技術領域 | 生化醫藥,光電光學 |
 專利摘要(中) |
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| 一種氣溶膠沉積設備，包含腔體、電漿裝置及噴霧裝置。該腔體界定出處理空間且包括設置於該處理空間並具有承載面的載台。該噴霧裝置用以產生氣溶膠且將氣溶膠送入該處理空間，且包括注射單元、霧化單元及閥單元。該閥單元與該腔體連接並用以控制氣溶膠進入該處理空間，且界定出用以供氣溶膠通過的直線通道及具有連接於該腔體的接觸面。該承載面的寬度除以該承載面與該接觸面間的距離的數值為大於0.05且小於3，該承載面的法線方向與該接觸面間的夾角為45度至135度，該直線通道的長度除以該直線通道的最小等效直徑的數值為大於0.125且小於15。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 楊美茹 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #62305 |
| 承辦人Email | mjyang2@mx.nthu.edu.tw |
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