專利授權區 | |
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專利名稱(中) | 製作薄膜太陽能電池之靶材、製程及其產品 |
專利家族 |
中華民國:I418048 |
專利權人 | 國立清華大學 100% |
發明人 | 陳家庠,陳奕璋,賴志煌 |
技術領域 | 材料化工 |
專利摘要(中) |
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一種製作薄膜太陽能電池的製程,主要是在高溫中濺鍍形成照光時產生光電流的化合物薄膜,或以多段式濺鍍方式形成多數層分別具有不同能隙的化合物薄膜,進而製作出薄膜太陽能電池,由於高溫濺鍍可以成長出大晶粒的柱狀晶化合物薄膜,而,多段式濺鍍方式則能形成多數層分別具有不同能隙的化合物薄膜,所以製作出的薄膜太陽能電池具有極高的效率,此外,濺鍍製程可以直接整合入目前業界的生產製程,而可以大面積大規模地量產。本發明還提供適用的靶材。 |
聯絡資訊 | |
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承辦人姓名 | 楊美茹 |
承辦人電話 | 03-5715131 #62305 |
承辦人Email | mjyang2@mx.nthu.edu.tw |