專利授權區 | |
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專利名稱(中) | CMOS-MEMS諧振換能器及其製造方法 |
專利名稱(英) | CMOS-MEMS RESONANT TRANSDUCER AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME |
專利家族 |
中華民國:I562224 |
專利權人 | 國立清華大學 100% |
發明人 | 李銘晃,陳昭瑜,李昇憲 |
技術領域 | 通信傳輸,機械結構,電子電機 |
聯絡資訊 | |
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承辦人姓名 | 劉千綺 |
承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |