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專利名稱(中) 太赫茲元件的製造方法
專利名稱(英) METHOD FOR MANUFACTURING TERAHERTZ DEVICE
專利家族 中華民國：I822144
美國：2023-0420606(公開號)
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 楊尚樺,陳往謙,吳宗翰
技術領域 材料化工,生化醫藥,通信傳輸,光電光學,電子電機
專利摘要(中)
本揭露提供一種太赫茲元件的製造方法，其包括使用化學氣相沉積製程於基板上形成光吸收結構。基板包括半導體基板、藍寶石基板、石英基板或其組合。光吸收結構包括半導體材料、二維材料、低維度材料、磁性材料、拓樸材料或其組合。
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承辦人姓名 李曉琪
承辦人電話 03-5715131 #31061
承辦人Email hsiaochi@mx.nthu.edu.tw
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