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|---|---|
| 專利名稱(中) | 晶圓缺角自動對齊裝置 |
| 專利家族 |
中華民國：I799990 大陸：CN 115810571 A(公開號) 美國：(公開號) |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 葉維彰,譚詩毅 |
| 技術領域 | 工業工程,電子電機 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 李佳玲 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #62300 |
| 承辦人Email | cl.lee@mx.nthu.edu.tw |
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