專利授權區 | |
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專利名稱(中) | 微機電共振器之主動式溫度補償方法及其共振器 |
專利名稱(英) | MEMS RESONATOR ACTIVE TEMPERATURE COMPENSATION METHOD AND THERMALLY-ACTUATED MEMS RESONATOR |
專利家族 |
中華民國:I538396 美國:9,630,830 |
專利權人 | 國立清華大學 100% |
發明人 | 陳政吉,李昇憲 |
技術領域 | 通信傳輸,機械結構,電子電機 |
聯絡資訊 | |
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承辦人姓名 | 劉千綺 |
承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |