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| 專利名稱(中) | 極紫外光光譜橢偏儀 |
| 專利名稱(英) | EUV SPECTROSCOPIC POLARIMETER |
| 專利家族 |
中華民國：I780700 美國：11,313,727 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 陳明彰,張光佑,黃旆齊 |
| 技術領域 | 材料化工,能源科技,光電光學,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 本揭示內容提供一種極紫外光光譜橢偏儀，其包含光源接收元件、第一極化調變元件、第二極化調變元件、能量分離元件以及光感測與分析裝置。光源接收元件用以接收目標光源。第一極化調變元件可旋轉地連接於光源接收元件，並產生一第一極化光。第二極化調變元件可旋轉地連接於第一極化調變元件藉以產生一第二極化光。能量分離元件用以接收第二極化光以產生一極化調變與能量解析光。光感測與分析裝置用以接收極化調變與能量解析光並提供光譜及偏振資訊，其中光譜及偏振資訊包含至少一能量資訊。藉此，有助於量測目標光源光譜偏振資訊。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 李曉琪 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #31061 |
| 承辦人Email | hsiaochi@mx.nthu.edu.tw |
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