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專利名稱(中) 壓電換能器之製造方法
專利名稱(英) METHOD FOR FABRICATING PIEZOELECTRIC TRANSDUCER
專利家族 中華民國:I572262
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 陳冠文,洪健中
技術領域 材料化工,機械結構,電子電機
專利摘要(中)
一種壓電換能器之製造方法,包括:提供一基板,其上形成有複數圖案化電極;提供一壓電粒子懸浮溶液於該基板及該些圖案化電極上;提供一電壓予該些圖案化電極之間,以產生一電場;以及透過該電場,使得該壓電粒子懸浮溶液中之複數壓電粒子沉積於該些圖案化電極之至少其中一者上,以形成一圖案化壓電薄膜,並透過該電場,使得該圖案化壓電薄膜發生極化。
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承辦人姓名 李佳玲
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