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專利名稱(中) 半導體之貫孔內連接線的製造方法
專利名稱(英) METHOD FOR FABRICATING INTERCONNECTING LINES INSIDE VIA HOLES OF SEMICONDUCTOR DEVICE
專利家族 中華民國:I482240
美國:8,679,974
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 林佳漢,李豐宇,方維倫
技術領域 機械結構,電子電機
聯絡資訊
承辦人姓名 劉千綺
承辦人電話 03-571-5131 #31181
承辦人Email chienchi@mx.nthu.edu.tw
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