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專利名稱(中) 部分隔離矽基板之三族氮化物半導體裝置之製作方法
專利名稱(英) Method of Fabricating III-Nitride Based Semiconductor on Partial Isolated Silicon Substrate
專利家族 中華民國:I493617
美國:8,999,849
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 林于軒,連羿韋,徐碩鴻
技術領域 電子電機
聯絡資訊
承辦人姓名 李曉琪
承辦人電話 03-5715131 #31061
承辦人Email hsiaochi@mx.nthu.edu.tw
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