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專利名稱(中) | 檢測微區域應力之方法與系統 |
專利名稱(英) | THE STRESS DETECTION METHOD AND SYSTEM ON SMALL AREAS |
專利家族 |
中華民國:I475202 |
專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
發明人 | 廖冠勛,羅丞曜 |
技術領域 | 機械結構,光電光學,電子電機 |
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本發明在一基底佈設一具有紋路的導電線路,藉由電流流過此導電線路並因熱焦耳效應使導電線路產生熱,待偵測導電線路上之熱影像後,可精確獲得基底之表面形貌與微區域應力。 |
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承辦人姓名 | 劉千綺 |
承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |