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專利名稱(中) 薄膜圖案形成方法
專利名稱(英) METHOD OF PATTERNING THIN FILM
專利家族 中華民國：I567487
大陸：2989865
美國：9,625,820
專利權人 國立清華大學 100.00%
發明人 陳威群,楊長謀
技術領域 材料化工,能源科技,光電光學
專利摘要(中)
本发明是一种薄膜图案形成方法，包含形成薄膜、覆盖掩模于薄膜以及进行溶剂退火与照光步骤。其中薄膜包含第一分子，第一分子具有共轭结构。掩模包含至少一曝光区，溶剂退火与照光步骤中使用光源照射薄膜，并在第一溶剂氛围下进行，光源的波长范围对应第一分子达到激发态的能量。藉此，薄膜对应曝光区的照光区厚度增加或减少，以于薄膜形成图案。本发明的薄膜图案形成方法具有简化制程、提高生产效率与符合环保诉求等优点。
聯絡資訊
承辦人姓名 楊美茹
承辦人電話 03-5715131 #62305
承辦人Email mjyang2@mx.nthu.edu.tw
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