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| 專利名稱(中) | 異質整合電容器以及金屬-氧化物-金屬電容器 |
| 專利名稱(英) | HETEROGENEOUS INTEGRATION CAPACITOR AND MoM CAPACITOR |
| 專利家族 |
中華民國：I842474 美國：2024-0347532(公開號) |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 徐碩鴻,吳龢峻,章殷誠 |
| 技術領域 | 通信傳輸,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 本發明提供一種異質整合電容器，具有第一電極與第二電極，且包括：基底；半導體電容器；金屬-氧化物-金屬電容器；以及金屬-絕緣層-金屬電容器。所述金屬氧化物半導體電容器、所述金屬-氧化物-金屬電容器與所述金屬-絕緣層-金屬電容器依序形成於所述基板之上。所述半導體電容器、所述金屬-氧化物-金屬電容器與所述金屬-絕緣層-金屬電容器以並聯方式形成。 |
| 專利摘要(英) |
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| A heterogeneous integration capacitor and MoM capacitor are provided. The heterogeneous integration capacitor has a first and a second electrodes, and includes a substrate, a semiconductor capacitor, an MoM capacitor and an MiM capacitor. These capacitors are sequentially provided on the substrate, and are connected in parallel. |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 李曉琪 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #31061 |
| 承辦人Email | hsiaochi@mx.nthu.edu.tw |
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