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|---|---|
| 專利名稱(中) | 用於多層半導體裝置的檢測方法 |
| 專利名稱(英) | INSPECTION METHOD FOR MULTILAYER SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 專利家族 |
中華民國：I777576 美國：11,313,670 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 衛子健,徐米克,黎德英 |
| 技術領域 | 光電光學 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 李佳玲 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #62300 |
| 承辦人Email | cl.lee@mx.nthu.edu.tw |
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