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專利名稱(中) 微機電共振器之主動式溫度補償方法及其共振器
專利名稱(英) MEMS RESONATOR ACTIVE TEMPERATURE COMPENSATION METHOD AND THERMALLY-ACTUATED MEMS RESONATOR
專利家族 中華民國:I538396
美國:9,630,830
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 陳政吉,李昇憲
技術領域 通信傳輸,機械結構,電子電機
聯絡資訊
承辦人姓名 劉千綺
承辦人電話 03-571-5131 #31181
承辦人Email chienchi@mx.nthu.edu.tw
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