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專利名稱(中)	一種具壓電特性的橡膠材料薄膜結構與製造方法
專利名稱(英)	THIN FILM FABRICATION OF RUBBER MATERIAL WITH PIEZOELECTRIC CHARACTERISTICS
專利家族	中華民國：I535084 美國：9,048,427
專利權人	國立清華大學 100.00%
發明人	蘇育全,王志哲
技術領域	材料化工,能源科技,電子電機

專利摘要(中)
本發明所提供之一種具壓電特性的橡膠材料薄膜結構與製造方法。本發明係利用高分子鑄造、多層堆疊、表面改質、以及微電漿製程所開發出來。為了實現所需的機電感應靈敏度，設計並製造了內含微米孔洞的二甲基矽氧烷結構，並佈植雙極性電荷於孔洞內部的上下表面，植入的成對電荷具有電偶極的特性，可產生多樣的機電感應關係。

專利摘要(中)

本發明所提供之一種具壓電特性的橡膠材料薄膜結構與製造方法。本發明係利用高分子鑄造、多層堆疊、表面改質、以及微電漿製程所開發出來。為了實現所需的機電感應靈敏度，設計並製造了內含微米孔洞的二甲基矽氧烷結構，並佈植雙極性電荷於孔洞內部的上下表面，植入的成對電荷具有電偶極的特性，可產生多樣的機電感應關係。