專利授權區國立清華大學國際產學營運總中心 Operations Center for Industry Collaboration

搜尋專利授權區

關鍵字

» 新增關鍵字

選單

專利授權區

專利授權區
專利名稱(中)	製備過渡金屬硫族化物之方法
專利名稱(英)	METHOD OF FABRICATING TRANSITION METAL DICHALCOGENIDE
專利家族	中華民國：I551539 大陸：3557750 美國：9,840,764
專利權人	國立清華大學 100.00%
發明人	顏文群,陳雨澤,蘇登瑜,李建廣,麥迪納,闕郁倫
技術領域	材料化工,光電光學,電子電機

專利摘要(中)
本發明是在提供一種製備過渡金屬硫族化物之方法，其可於攝氏150至500度的基板溫度以及25至760托耳的製程環境下生產過渡金屬硫族化物。且本發明採用的硫族元素來源是採用加熱硫族固體源並對其離子化的方式以取得硫族元素電漿，所以在本發明中可避免去使用習知製備過渡金屬硫族化物技術中的劇毒硫化氫氣體。

專利摘要(中)

本發明是在提供一種製備過渡金屬硫族化物之方法，其可於攝氏150至500度的基板溫度以及25至760托耳的製程環境下生產過渡金屬硫族化物。且本發明採用的硫族元素來源是採用加熱硫族固體源並對其離子化的方式以取得硫族元素電漿，所以在本發明中可避免去使用習知製備過渡金屬硫族化物技術中的劇毒硫化氫氣體。