專利授權區 | |
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專利名稱(中) | 動態實驗設計方法 |
專利名稱(英) | METHOD FOR DYNAMIC EXPERIMENTAL DESIGN |
專利家族 |
中華民國:I519986 |
專利權人 | 國立清華大學 100% |
發明人 | 莊世鐘,簡禎富 |
技術領域 | 工業工程 |
專利摘要(中) |
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本發明揭露一種可應用於半導體製程之動態實驗設計方法。藉由在實驗設計之過程中,檢查實驗目標範圍是否有所更動,以重新建立實驗設計表並保留已完成實驗的因子水準,而可達到動態調整實驗因子之目的。本發明之實驗設計方法能夠有效地適用在高科技產業。 |
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承辦人姓名 | 呂建潁 |