專利授權區 | |
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專利名稱(中) | 一種氣體偵測裝置及其方法 |
專利家族 |
中華民國:I427290 |
專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
發明人 | 李承漢,郝旭昶,饒達仁,古珮欣,楊家銘,鄭桂忠,趙哲新 |
技術領域 | 電子電機 |
專利摘要(中) |
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本發明揭露一種氣體感測裝置及其方法,特別是一種能於低濃度環境下同時感測至少一種氣體,其包含一第一表面聲波元件(Surface Acoustic Wave Device,SAW device),該元件具有一壓電基板、一對換能器及一外部電路,該對換能器係由一第一換能器及一第二換能器所組成,係分別形成於該壓電基板之兩端上,該第一換能器,於相對之該壓電基板上產生表面聲波,該外部電路係電性連接於該對換能器,及至少一第二表面聲波元件,該元件具有該第一表面聲波元件、一具有孔洞之感測薄膜,該薄膜兩侧係分別形成於該對換能器之上;以及一控制裝置,控制該裝置內一次僅有一該外部電路動作;其中當該薄膜吸附感測物時,該薄膜傳遞該表面聲波變化至該第二換能器,藉由該表面聲波變化量,對該待測物進行定量分析或定性之分析。 |
聯絡資訊 | |
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承辦人姓名 | 劉千綺 |
承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |